中国新兴的半导体行业正在政府政策的大力支持、充足的人才储备、企业的大举投资推动下加速发展。随着产业与企业的逐步发展,宝丰堂进一步完善产业链,扩大产业规模,形成了半导体产业研发、生产、销售的完整体系,通过超前的高新技术提供高效、精准的先进半导体设备。参展展品的亮点介绍:关键词:等离子去胶技术、干法去胶、晶圆表面预处理、多腔体控制SDU系列产品是宝丰堂先进的干法去胶及蚀刻系统,并...
对于处理对静电敏感的器件,微波产生的等离子体相对于射频具有明显的优势。由于在微波等离子体电场中的频率振荡较高,相对于射频等离子而言电子在转变方向之前的运动距离更短。这意味着在每个运动周期中能够到达器件表面的电子数量更少,因此使表面的电荷效应降至最低。由于最低的表面电荷,不会使离子加速向表面运动,从而避免不希望的表面碰撞。因此微波等离子体具有各向同性的特点,很适合于MEMS制造中的“器...